UHP高纯减压器严格按照高洁净技术要求生产 、安装和测试 ，所有工序均在Class 10/100/1000无尘室进行 ，确保产品不受污染 。

结构特点 ：
•316L不锈钢母体
•膜片式硬密封 ，泄漏率低
•可采用面板安装和后座安装
•压力表标准连接 ：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
•内部电解抛光
•高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
•使用寿命长
•100%氦气测试
材质 ：
• 母体 ：316L
•阀座 ：PCTFE*, Vespel®
•膜片 ：316L
•上盖 ：316
功能特性 ：
•流量 ：Cv=0.14
•母体泄漏率 ：2×10-8 atm cc/sec He
•阀座泄漏率 ：4×10-8 atm cc/sec He
•设计验证压力 ：最大额定压力的150%
•设计爆破压力 ：最大额定压力的400%